非接觸式高精度測量微小位移傳感器（間隙檢測器），根據(jù)檢測方法的不同，有電容式及渦電流式兩種，共13種傳感器，用戶可以根據(jù)被測對象或被測物形狀的不同，選用Z合適的傳感器

產(chǎn)品型號：CL-2400
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更新時(shí)間：2024-05-30
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非接觸式測厚儀及外圍設(shè)備

非接觸式高精度測量微小位移傳感器（間隙檢測器），根據(jù)檢測方法的不同，有電容式及渦電流式兩種，共13種傳感器，用戶可以根據(jù)被測對象或被測物形狀的不同，選用zui合適的傳感器。另外，與變換器及顯示器配套，可組成zui合適的系統(tǒng)。

◆ 微小位移傳感器

VE系列 電容式傳感器
VS系列 渦電流式傳感器

◆ 變換器

VT-510模擬式變換器（VE系列用）

製品寫真（VE/VSシリーズギャップディテクタ）

◆ 顯示器

CL系列顯示器有兩種型號，CL-2400是用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體測量，CL- 6200用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體及絕緣體測量。這兩種型號，可廣泛應(yīng)用于硅晶片、鐵板、膠片、玻璃板等。與各種傳感器配套，可測量0.1 μm ～99.9999mm （導(dǎo)體?半導(dǎo)體測量時(shí)）及0.1 μm～5.000mm （絕緣體測量時(shí)）。

CL-2400導(dǎo)體?半導(dǎo)體用測厚儀
CL-6200導(dǎo)體?半導(dǎo)體?絕緣體用測厚儀（預(yù)定生產(chǎn)）

■ 靜電電容式微小位移傳感器工作原理

VE系列微小位移傳感器是利用傳感器與被測物的靜電容量變化來測量位移的。靜電容量是導(dǎo)體的對向面積S、間隙D等的函數(shù)。當(dāng)對象導(dǎo)體（傳感器與被測物）是平行平板時(shí)，如上圖所示，由靜電容量測出間隙（位移）由于c與d成反比例關(guān)系，當(dāng)靜電量很小時(shí)，很難保證測量結(jié)果的穩(wěn)定性，而且量程也不能太大。本公司zui近采用了新的電路，克服了這個(gè)缺點(diǎn)，可作到高精度、高穩(wěn)定性的測量。

　

■ 渦電流式微小位移傳感器動作原理

　

VS系列微小位移檢測器，是利用渦電流效果，由傳感器的線圈（L）和變換部的電容（C）組成LC共振回路，再用石英振蕩器將此回路造成共振狀態(tài)。根據(jù)傳感器部與被測物間的距離，被測物產(chǎn)生的渦電流損耗，與上述距離的對數(shù)成反比，而傳感器部的電感，與上述距離的對數(shù)成比例。其結(jié)果是，被測物一旦振動，共振回路的端電壓發(fā)生變化，檢測該變化信號，就作為具有對數(shù)函數(shù)特性的距離信號輸出，為了使這個(gè)信號與距離線性化，附加了高性能的線性化儀。

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非接觸式高精度測量微小位移傳感器（間隙檢測器），根據(jù)檢測方法的不同，有電容式及渦電流式兩種，共13種傳感器，用戶可以根據(jù)被測對象或被測物形狀的不同，選用Z合適的傳感器

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非接觸式高精度測量微小位移傳感器（間隙檢測器），根據(jù)檢測方法的不同，有電容式及渦電流式兩種，共13種傳感器，用戶可以根據(jù)被測對象或被測物形狀的不同，選用Z合適的傳感器